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200工位超高真空排气设备
更新时间：2022-03-03 10:09:41 字号：T|T
1、产品用途
用于200工位器件超高真空排气。
2、技术参数
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极限真空 |
10-8Pa |
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烘烤温度 |
室温+20℃～180℃ |
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工位数量 |
200 工位 |
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分区 |
共分成 4 个分区，每个分区可独立工作 |
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温度均匀性 |
单个温区内≤±3℃ |
