028- 84601124 
阴极预处理台
更新时间：2022-03-03 09:56:48 字号：T|T
用于电真空器件阴极组件的排气、老练工艺。
2、技术参数
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极限真空度 |
10-7Pa |
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工作真空 |
10-6Pa |
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工位数量 |
10工位 |
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烘箱温度 |
≤550℃ |
