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超高灵敏度氦质谱检漏仪
更新时间:2022-03-03 11:07:18 字号:T|T

 

1、产品用途
        采用相对法和累积法,可检漏率3×10-15Pa·m3/s ,可有效满足真空寿命及要求较高的真空电子器件测试要求。

2、技术参数
极限真空度            ≤3×10-9mbar
漏率检测范围            10-8~3×10-15Pa·m3/s
工作响应时间:            ≤2s

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