欢迎来到成都华聚科技有限公司
028- 84601124
products
产品中心
Contact Us
联系我们
你现在的位置:网站首页 > 产品中心 > 半导体核心部件 > 真空机械手 > 真空机械手
真空机械手
更新时间:2022-03-03 09:53:00 字号:T|T
VR-D系列晶圆搬运真空机械手主要应用于半导体加工过程中,是负责真空端不同工位间基片传送的关键自动化设备。
                          

1、产品用途      
        VR-D系列晶圆搬运真空机械手主要应用于半导体加工过程中,是负责真空端不同工位间基片传送的关键自动化设备。

2、技术参数

伸缩行程 

               ≤600mm

载重量

               ≤0.5kg

耐真空度

               10-5Pa

维数

               3

重复运动精度

               ±0.1mm 

维护周期

               1年/次

手臂耐温(℃)

               ≤80

叉片耐温(℃)

               ≤300(更高可定制


  • 上一篇:已经没有了
  • 下一篇:已经没有了