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团簇转运平台
更新时间：2023-01-29 09:50:02 字号：T|T
提供定制化的Cluster团簇中心转运平台，用于将产品或衬底在各工艺腔室之间进行转运，以便客户进行二次开发。
1、产品用途
提供定制化的Cluster团簇中心转运平台，用于将产品或衬底在各工艺腔室之间进行转运，以便客户进行二次开发。
2、技术参数
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基片规格 |
2"—12" |
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工位数 |
4工位、6工位、8工位 |
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真空机械手 |
华聚科技/进口 |
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腔体材料 |
铝/不锈钢 |
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控制软件 |
MODBUS TCP/IP、I/O、RS485接口可选 |
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选配 |
其他功能可根据要求选配或定制 |
