欢迎来到成都华聚科技有限公司
028- 84601124
products
产品中心
Contact Us
联系我们
你现在的位置:网站首页 > 产品中心 > 半导体核心部件 > 单碟式真空传输系统(loadlock) > 单碟式真空传输系统(loadlock)
单碟式真空传输系统(loadlock)
更新时间:2022-05-24 15:13:51 字号:T|T
该设备是兼容高真空环境的自动传输系统。传输室与工艺腔室通过传输阀连接,通过机械手在传输室和工艺室内传输产品,可消除在每个基片循环期间工艺室排气和排空过程,提高系统效率。
 
       

1、产品用途
       该设备是兼容高真空环境的自动传输系统。传输室与工艺腔室通过传输阀连接,通过机械手在传输室和工艺室内传输产品,可消除在每个基片循环期间工艺室排气和排空过程,提高系统效率。


2、技术参数

基片规格

12"(向下兼容)

工位数

单工位

腔体材料

/不锈钢

真空机械手

升降可选

控制软件

MODBUS TCP/IP、I/O、RS485接口可选

选配

其他功能可根据要求选配或定制


  • 上一篇:已经没有了
  • 下一篇:已经没有了